一起來(lái)了解一下勻膠機的旋轉涂覆技術(shù)是什么吧

　　勻膠機是在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。

　　下面讓我們一起來(lái)了解一下勻膠機的旋轉涂覆技術(shù)吧

　　旋轉涂覆技術(shù)所使用的設備是勻膠機。

　　勻膠機有很多種稱(chēng)謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱(chēng)甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

　　總的來(lái)說(shuō)，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。

　　從其原理來(lái)說(shuō)，勻膠機有以下兩個(gè)特點(diǎn)。

　　(1)旋轉速度

　　轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。目前轉速控制方面有認定標準，如美國NIST標準等。

　　(2)真空吸附系統

　　真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會(huì )讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，當真空吸附力不夠時(shí)不會(huì )開(kāi)始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統。