自動(dòng)勻膠顯影機是一種用于信息科學(xué)與系統科學(xué)、物理學(xué)、工程與技術(shù)科學(xué)基礎學(xué)科、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，接下來(lái)就給大家介紹一下它的工作原理及其特點(diǎn)，希望能夠幫助到您！
 

　　自動(dòng)勻膠顯影機的工作原理：
 

　　顯影系統具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應用的要求重復進(jìn)行，如沖洗(通常是去離子水或溶劑)，然后干燥(通常是氮氣)等最后的處理步驟。采用此序貫閥門(mén)技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開(kāi)通和關(guān)閉處理過(guò)程。隔離和獨立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內調節。勻膠顯影機還有可選擇的動(dòng)態(tài)線(xiàn)性或徑向滴膠的特性。
 

　　自動(dòng)勻膠顯影機的產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　1、該設備采用先進(jìn)的單片微型機程序自動(dòng)控制，顯影質(zhì)量好工藝條件穩定可靠適應宜科研和生產(chǎn)單位大規模集成電路和其它半導體器件的光刻工藝中作顯影之用(如：硅片勻膠后的顯影)。
 

　　2、該設備顯影工藝采用了先進(jìn)的噴霧方式，可根據工藝要求噴霧狀態(tài)電機的轉數，程序時(shí)間的工藝參數都可在很寬的數值范圍內調整，其程序為延時(shí)吸片、顯影、漂洗、干燥、延時(shí)復位。
 

　　3、該設備采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整，特別是對較細線(xiàn)條電路采用此工藝可得到很高的效果。
 

　　4、本設備除能實(shí)現顯影工藝外亦可進(jìn)行人工涂膠，工藝指標與專(zhuān)用涂膠效果基本相同。
 

　　5、該顯影機為獨立臺式機，操作方便。