程控勻膠機是一種高精度的旋轉涂布儀。主要用于高校、科研院所、研發(fā)中心等各類(lèi)功能膜的研發(fā)，適用于半導體硅片、晶圓、ITO導電玻璃、光學(xué)玻璃、生物膜、制版等工藝的表面涂裝。
 

　　程控勻膠機的工作原理：
 

　　利用底片在片材夾持器上產(chǎn)生，待旋涂的基材吸附在片材夾上，膠液滴在基材表面上。離心力通過(guò)精確調整電機的轉速來(lái)改變。同時(shí)，膠流由膠滴裝置控制，從而達到制備膜所需的厚度。此外，旋涂時(shí)間、膠溶液粘度、涂層溫度和濕度等環(huán)境因素也會(huì )影響薄膜厚度。
 

　　它已廣泛應用于MEMS微加工、生物、材料等領(lǐng)域。它可以用于制備厚度小于10nm的薄膜，并且經(jīng)常用于厚度約為1-100微米的光刻膠沉積層的光刻。勻膠機可以施加的膜厚度可以達到10納米至10微米的范圍，并且均勻性可以達到1%。
  

　　程控勻膠機的功能特點(diǎn)：
 

　　1、機身采用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕的不銹鋼制成，不生銹，易于清潔。
 

　　2、采用全彩7英寸觸摸屏控制面板，操作直觀(guān)、簡(jiǎn)單、方便。
 

　　3、顯示了實(shí)時(shí)涂層速度和時(shí)間，設置參數的過(guò)程一目了然。
 

　　4、內置計算機控制、Windows操作界面、USB接口和打印機等外部設備(可選)。
 

　　5、不銹鋼室、PTFE室(可選)。
 

　　6、定制的涂層程序和涂層步驟可以隨意更改。共有40個(gè)涂層程序，每個(gè)程序可設置40個(gè)步驟(可根據用戶(hù)要求隨意擴展)。