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臺式光刻機

簡(jiǎn)要描述：臺式光刻機參數：1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對準精度:±1um(標準晶圓拋光片)。4.光源強度:35mW/cm2。5.曝光波長(cháng):LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬(wàn)小時(shí))

  • 所在城市：無(wú)錫市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新日期：2025-01-08
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：468

詳細介紹

　　臺式光刻機參數：
 
　　1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
　?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
　　3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
 
　　4.光源強度:35mW/cm2
 
　　5.曝光波長(cháng):LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬(wàn)小時(shí))
 
　　6.曝光方式:定時(shí)(倒計時(shí)方式)
 
　　7.掩模樣片相對運動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
 
　　8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
 
　　9.掩模尺寸:7英寸，樣片規格:6英寸(晶圓片)
 
　　10.數字設定對準間隙和曝光間隙
 
　　11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續可調
 
　　12.對準方式:自動(dòng)對準，可根據客戶(hù)需求，增加對準標記的類(lèi)型，累計不超過(guò)4組
 
　　13.自動(dòng)輸片:機械手自動(dòng)輸片(專(zhuān)用樣片機械手臂及片叉)，含預對準定位功能
 
　　14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數字設定)
 
　　15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準，光學(xué)合像
 
　　16.調平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復
 
　　17.雙物鏡可調距離范圍:30mm-130mm
 
 

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